高纯氨气 NH3
三氯化硼 BCl3
高纯二氧化碳 CO2
氧化亚氮 N2O
二氧化氮 NO2
一氧化氮 NO
氯气 Cl2
高纯氧气 O2
氯化氢 HCl
四氟化碳|CF4
高纯氢 H2
羰基硫 COS
六氟化硫 SF6
二氧化硫 SO2
硫化氢 H2S
一氧化碳 CO
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