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高纯无机气体

四氟化碳|CF4

四氟化碳|CF4
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产品名称:

四氟化碳|CF4

其他名称:

四氟甲烷

分子式:

CF4

UN NO.:

UN 1956

CAS NO.:

75-73-0

产品纯度:

99.999%

包装说明:

40L钢瓶30kg/瓶


咨询热线:137-111-76807

产品名称: 四氟化碳
其他名称: 四氟甲烷、R14、tetrafluoromethane、carbon tetrafluoride
分子式: CF4
UN No. UN1956
CAS No. 75-73-0
产品纯度:99.99~99.999% 
包装说明: 47L DOT钢瓶,钢瓶尺寸23 × 130cm,316L SS材质阀门,阀门型号CGA660;40L高压无缝钢瓶,净重30kg/瓶,瓶头阀是铜质阀门是QF-2,出口螺纹是G5/8
产品说明: 四氟化碳是不燃烧的无色、无味的压缩气体,充装于四氟化碳钢瓶中,饱和蒸汽压约压力2000 psig。四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅,磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗,太阳能电池的生产,激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态,印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。由于四氟化碳的化学稳定性,四氟化碳可用于金属冶炼,例如:铜、不锈钢,碳钢、铝、蒙乃尔等;还可用于塑料行业;如:合成橡胶、氯丁橡胶、聚氨基甲酸乙酯。 
注意事项: 四氟化碳是不燃性压缩气体。储存于阴凉、通风仓间内。仓内温度不宜超过60℃。远离火种、热源。防止阳光直射。应与易燃或可燃物分开存放。验收时要注意品名,注意验瓶日期,先进仓的先发用。搬运四氟化碳时轻装轻卸,防止钢瓶及附件破损。泄漏时,应迅速撤离泄漏污染区人员至上风处,并进行隔离,严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器,穿一般作业工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风,加速扩散。如有可能,即时使用。漏气容器要妥善处理,修复、检验后再用。
四氟化碳的物理化学性质
分子量:88.005
熔点(101.325kPa):    -186.8℃
沸点(101.325kPa):    -128.0℃
液体密度(-127.94℃,101.325kPa):1603kg/m3
气体密度(0℃,101.325kPa):    3.946 kg/m3
相对密度(气体,0℃,101.325kPa):  3.05
气液容积比(15℃,100kPa):436 L/L
比容(21.1℃,101.325kPa):0.2747m3/kg
临界温度:    -45.6℃
临界压力:    3739kPa
临界密度:    629kg/m3
压缩系数:

温度℃
压缩系数
100kPa
1000kPa
5000kPa
10000kPa
1 5
0.9981
0.9763
0.7832
0.6058
50
0.9988
0.9866
0.8717
0.7637

 
熔化热(-186.8℃):    7.609 kJ/kg
气化热(-127.94℃,101.325kPa):  135.65 kJ/kg
比热容(气体,25℃,101.325kPa):Cp=696 J/(kg·K)
                                Cv=602J/(kg·K)
比热比(气体,25℃,101.325kPa):Cp/Cv=1.157
蒸气压(-180.65 C):0.20 kPa
             (-120℃):    165 kPa
              (-50℃):    3220 kPa
粘度(101.325kPa,0℃,气体):0.0161 mPa·S
                (-60.0℃,液体):0.170 mPa·S
表面张力(-80.0℃):    6.4 mN/m
导热系数(101.325kPa,0℃):0.01503 w/(m·K)
            (液体,-60.0℃):0.07196 w/(m·K)
折射率(-73℃):    1.151
四氟化碳在常温常压下为无色无臭有轻微醚味的气体。空气中不燃烧,是比较稳定的无毒物质。但是在高温时,或与可燃气体一同燃烧时,分解出有毒的氟化物。在1000℃以上能与二氧化碳形成羰基氟。微溶于水,在25℃,101.325kPa时,水中溶解度为0.0015%(重量)。有轻微的水解作用。

产品性质说明

MSDS

技术指标

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