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    四氟硅烷《气体应用大全》

    2014-3-6 23:00:46

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    四氟硅烷SiF4
    1.别名·英文名
    氟化硅,四氟化硅;Silicon Tetrafluoride、TetrafIuorosiIane、Silicon fluoride.
    2.用途
    有机硅化合物的合成材料,水泥和人造大理石的硬化剂,氟硅酸及氟化硅的制造,硅的外延生长,等离子蚀刻,太阳能电池,复印机感光筒,非晶硅膜生成,化学气相淀积。
    3.制法
    (1)加工含有氟化物的天然磷酸盐(在浓硫酸对CaF2和氟磷灰石作用时)的副产品。
    (2)在赤热温度下分解氟硅酸钡。
    (3)用HF作用于SiO2.
    (4)在常温下F对Si的作用。
    (5)将硅砂与氟石混合,加入过量的浓硫酸中,并加热。
    (6)氟置换四氯化硅,SiCl4+2F2→SiF4+2Cl。
    4.理化性质
    分子量: 104.08
    熔点: -95.7℃
    沸点(241kPa): -90.2℃
    升化点: -94.8
    液体密度(-80℃)j 1590kg/m3
    气体密度(20℃,101.325kPa): 4.370kg/m3
    相对密度(气体,空气=1,20℃,101.325kPa):3.63
    比容(21.1℃;101.325kPa):0.231m3/kg
    临界温度: -14.2℃
    临界压力: 3715kPa
    熔化热(177.45K): 91.37kJ/kg
    气化热(182.9K,176kPa): 179.29kJ/kg
    升化热(178.35K): 246.43kJ/kg
    比热容(20℃,101.325kPa): 711.76J/(kg·K)
    蒸气压(-113.3℃): 13.332kPa
    (-52.6℃): 1013.25kPa
    (-33.4℃): 2026.5kPa
    四氟化硅在常温常压下为具有窒息性刺激臭的无色气体,空气中不燃烧。在600℃时与SiCl4反应生成SiClF、SiCl2F及SiCl3F。在湿空气中能形成白色烟雾,水解后生成HF和氟硅酸。
    3SiF4+(n+2)H2O→2H2SiF6+SiO2·nH2O
    2SiF4+(n+2)H2O→2HF+H2SiF6+SiO2·nH2O
    在常温干燥状态下,它与碱、碱土类金属反应生成硅、硅氟化碱等,又与碱及碱土类元素的氧化物或氢氧物反应。与碱金属的氟化物反应生成氟硅酸盐。
    SiF4+2NaF→Na2SiF6
    与酒精反应生成烷基正硅酸盐。与格利雅试剂反应。
    SiF4+3RMgX→R3SiF+3MgFX
    (R:烷基或丙烯基)
    干燥的四氟化硅气体无腐蚀性,但有水分时有腐蚀性。能溶于无水酒精、硝酸、氟化氢、乙醚、苯和氯仿中。
    5.毒性
    大鼠--吸入LCLo:300ppm
    最高容许浓度:0.4ppm(以F计)
    四氟化硅遇水分解生成的氟化氢等氟化物对人体产生毒作用,它对皮肤、眼睛和呼吸道粘膜产生刺激和腐蚀作用,能引起流泪、眼痛、咳嗽、呼吸困难、肺水肿等症状。长期接触可引起牙齿酸蚀症及骨硬化症(参见氯化氢和氟化氢)。
    6.安全防护
    工作场所要通风,保持空气新鲜干燥。潮湿时四氟化硅能迅速水解而具有腐蚀性。对干燥的四氟化硅可使用大多数通用金属材料,对潮湿的气体可以用蒙乃尔、铬镍合金、锌、金、铂等,但是铝、铝合金、钽、钛等不耐腐蚀。设备管道可用氨水检漏。
    废气可用水吸收,用苛性钾等碱性水溶液中和。
     
     
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