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    六氟乙硅烷《气体应用大全》

    2014-3-6 23:00:17

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    六氟乙硅烷Si2F6
    1.别名·英文名
    六氟化二硅;Disilicon hexafluoride、Hexafluorodisilane.
    2.用途
    含氟非晶硅膜,非晶硅的原料气。
    3.制法
    (1)
    (2)
    4.理化性质
    分子量: 170.16
    升华温度(101.325kPa): -19.1℃
    三相点(103.991kPa): -18.7l℃
    液体密度(0℃): 5997kg/m3
    气体密度(0℃): 7.76kg/m3
    临界温度: 71℃
    熔化热(103.991kPa,-18.7℃): 95.9598kJ/kg
    气化热(103.991kPa,-18.7℃): 159.933kJ/kg
    升化热: 255.8928kJ/kg
    蒸气压(-50.2℃): 5.706kPa
    (-24.9℃): 65.595kPa
    (-6.5℃): 186.918kPa
    六氟乙硅烷在常温常压下为具有强刺激臭的无色有毒气体,在空气中不燃烧。在水中水解生成H2、H2SiO4、H2SiF6
    H2Si2O4等。
    Si2F6+4H2O→6HF+H2Si2O4
    6HF+H2Si2O4→H2+H2SiF6+H4SiO4
    H4SiO4+6HF→4H2O+H2SiF6
    在室温,即使与氯混合也不反应,但是当加热时产生激烈反应而生成SiF4、SiClF2、SiCl2F2等。
    5.毒性·安全防护
    当六氟乙硅烷漏到大气中时与水分反应生成硅氟酸和氢氟酸。因此,可以认为它的毒性和硅氟酸、氢氟酸相同。
    最高容许浓度:2.5mg/m3
    探漏方法,一是靠其强烈的刺激臭,二是靠其在空气中水解生成的SiO2白烟。
    废气直接排大气是危险的,而且是防止大气污染所不允许的。所以,一般用水吸收处理。在用水吸收处理时,水解产生氢气,因此,对氢气需要采取一定的措施。
    其它参见氟化氢。
     
     
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