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    二氟硅烷《气体应用大全》

    2014-3-6 22:31:29

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    1.别名·英文名
    二氟二氢硅;Difluorosilane.
    2.用途
    含氟非晶硅膜、制造非晶硅的原料气。
    3.理化性质
    分子量: 68.10
    熔点: -122.0℃
    沸点(101.325kPa): -77.8℃
    气体密度: 2.35kg/m3
    熔化热: 6.148kJ/kg
    气化热: 292.092kJ/kg
    临界温度: 34℃
    蒸气压(-124.3℃): 2.666kPa
    (-98.3℃): 26.664 kPa
    (-87.8℃): 53.329kPa
    比热容(气体,25℃): 749.443J/(kg·K)
    二氟硅烷在常温常压下为具有腐蚀性的可燃性有毒气体。长时间放置时缓慢分解,但比SiHF3分解速度慢。
    2SiH2F2→SiH4+SiF4
    在水或苛性苏打的水溶液中水解产生氢气。
    与乙醇、氨和胺反应。
    参见六氟化二硅。
     
     
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