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    三氟硅烷《气体应用大全》

    2014-3-6 22:30:54

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    1.别名·英文名
    Trifluorosilane.
    2.用途
    含氟非晶硅膜、非晶硅的原料气。
    3.制法
    (1)4SiCl3+3SnF4→4SiHF3+3SnCl4SbCl5
    (2)
    (3)4SiHCl3+3TiF4—→4SiHF3+3TiCl4
    4.理化性质
    分子量: 86.09
    熔点: -131.4℃
    沸点(101.325kPa): -95.0℃
    气体密度: 2.97kg/m3
    临界温度: -10℃
    比热容(气体,25℃,101.325kPa): 735.328J/(kg·K)
    蒸气压(-132.9℃): 2.666kPa
    (-102.8℃): 53.329kPa
    (-90.9℃): 125.256kPa
    三氟硅烷在常温常压下为具有强刺激臭的无色气体。在常温缓慢地进行分解。加热时也分解。但是在液氮温度下停止分解。
    4SiHF3→3SiF4+SiH4
    在空气中燃烧时发出淡青色火焰(着火温度比SiHCl3高)。
    12SiHF3+6O2→3SiF4+3SiO2+4HzSiF6+2H2SiO3
    在水或苛性苏打水溶液中水解产生氢气
    2SiHF3+(x+2) H2O—→SiO2·XH2O+H2SiF6+2H2
    与乙醇反应生成氢气和正硅酸酯Si(OR)4。与浓硝酸作用生成NO2气体。与氨、胺反应生成加合物。
    5.毒性·安全防护
    参见六氟乙硅烷。
     
     
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