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指 标 名 称 |
规 格 | |||||
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高纯氦气 |
纯氦气 |
工业氦气 | ||||
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一级品 |
二级品 |
一级品 |
二级品 | |||
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氦气含量 |
99.999% |
99.995% |
99.99% |
99.9% |
99.0% | |
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氖气含量, ppm≤ |
4.0 |
15 |
40 |
≤ 0.1% |
≤ 1.0% | |
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氢气含量, ppm≤ |
1.0 |
3.0 |
7.0 | |||
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氧气、氩总含量, ( 以氧计 ) ppm≤ |
1.0 |
3.0 |
5.0 | |||
|
氮气含量 , ppm≤ |
2.0 |
10 |
25 | |||
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一氧化碳含量, ppm≤ |
0.5 |
1.0 |
1.0 | |||
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二氧化碳含量, ppm≤ |
0.5 |
1.0 |
1.0 | |||
|
甲烷含量, ppm≤ |
0.5 |
1.0 |
1.0 | |||
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水份含量, ppm≤ |
3.0 |
10 |
20 | |||