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报告摘要：　　电子特种气体是光电子、微电子等领域，特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体材料制造过程不可缺少的基础性支撑源材料。它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术... 查看详情

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