热门下载
联系粤佳
广州市谱源气体有限公司
准分子激光气体对健康的危害-广州世源气体
2019-6-6 15:51:28
相关产品：准分子激光气体
在准分子激光器全球的医疗、半导体、光纤、平板显示、材料研究等高端行业得到广泛的应用，但作为专业的准分子激光气体的重要厂商，我们同时也发现在准分子激光器的使用上，还存在着一些隐忧，笔者想通过这篇文章，以引起相关操作人员的重视。
准分子激光气体的主要成分：
氟化氩（ArF) 193 nm ：F2、Ar、He、Ne；
氟化氪（KrF) 248 nm ：F2、Ar、He、Ne；
氯化氙（XeCl）308 nm ：HCl、H2、Xe、Ne
氟化氙（XeF） 351 nm：F2、Xe、He、Ne
显而易见，准分子激光气体成份中，Ar、He、Ne、Kr、Xe都是无色、无味、无毒、不可燃的惰性稀有气体，除非大量释放到密闭空间会引起窒息外，对人体的危害是有限的，排除惰性稀有气体的危害最主要的做法还是通风，增强室内空气的对流。
除了稀有气体之外，准分子激光气中的F2是我们采取防范措施的重中之重。很多情况下，准分子激光气体都是以预混的形式进行供应，这些预混气的F2浓度都在1%以下，但足以对人体健康构成威胁，尤其是一些工业和科研应用的准分子激光气，使用的是5%F2+95%He，这类型的气体对人体的危害更为严重。
氟气，化学式F2，是一种淡黄色、极具腐蚀性的双原子分子气体，密度（标准状态下）：1.554kg /m3 比空气大。有特殊气味，吸入感觉干燥。
|
物质状态： |
气体 |
形状： |
透明气体 |
|
|
气味： |
辛辣、臭味 | |
|
颜色： |
透明无色 |
沸点/沸点范围： |
|
|
PH值： |
N/A |
闪火点： |
无 |
|
分解温度： |
无 |
测试方法： |
○开杯 ○闭杯 |
|
自燃温度： |
无 |
爆炸界限： |
爆炸下限(LEL) / 爆炸上限(UEL)：…/… |
|
蒸气压： |
756.4 psig |
蒸气密度： |
1.312 (空气=1) |
|
密度： |
|
溶解度： |
完全互溶 |
化学分子式： F2
分子量： 37.9968
熔点(101.325kPa)： -219.62℃
沸点(101.325kPa)： -188.1℃
液体密度(-188.1℃ ，S.P.)： 1507kg /m3
气体密度(25℃ ，101.325kPa)： 1.554kg /m3
相对密度(气体，空气=1，25℃ ，101.325kPa)：1.312
比容(21.1℃ ，101.325kPa)： 0.6367m3 /kg
临界温度： -128.8℃
临界压力： 5215kPa
临界密度： 574 kg /m3
熔化热(-219.67℃ ，0.252kPa)： 13.44 KJ/kg
气化热(-188.2℃ ，101.325kPa)： 175.51 KJ/Kg
比热容(气体，21.1℃ ，101.325kPa)： Cp=827.67J/(mol.K)
Cv=609.65J/(mol.K)
比热比(气体，21.1℃ ，101.325kPa)：Cp/Cv=1.358
蒸气压(53.56K)： 0.223kPa
(77.17K)： 37.383kPa
(89.40K)： 162.638kPa
粘度(气体，0℃ ，101.325kPa)： 0.02180mPa.s
(液体，-192.2℃ )： 0.275mPa.S
表面张力(-193.2℃ )： 14.81mN/m
导热系数(气体，0℃ ，101.325kPa)：0.024769W/(mol.K)
(液体，-188.1℃ )： 0.159W/(mol.K)
折射率(气体，25℃ ，101.325kPa)： 1.000187
(液体，-188.1℃ )： 1.2
毒性级别： 4
易燃性级别： 0
易爆性级别： 3
火灾危险度： 极大
氟是电负度最强的元素，也是很强的氧化剂。在常温下，氟几乎能和所有的元素化合，并产生大量的热能，在所有元素中，氟是最活泼的。在－188℃ 以下，凝成黄色的液体，在-223℃ 变成黄色结晶体。由于氟的强化学特性，单质氟在自然界基本不存在，而主要以化合物的形式存在，其中最重要的化合物是氟化钙（CaF2），俗称萤石或氟石。由于原子能工业的发展，提炼核燃料必须使用单质氟，才使得氟气发展得到大规模的工业生产。氟气在现代工业中，特别是核工业、电气和化工行业等部门有着十分重要的用途。
毒性
人吸入TCLo：25ppm，5分钟，对眼有刺激性
最高容许浓度：0.1 ppm (0.2mg/m3)
氟是剧毒性气体，能刺激眼、皮肤、呼吸道粘膜。由于它立即与水反应生成氟化氢HF，所以在大多数情况下显出与氟化氢同样的毒性。轻微吸入会影响肺、鼻、喉咙等呼吸道黏膜，导致咳嗽及呼吸困难，过度吸入有可能产生组织破坏或肺水肿。
当氟浓度为5～10ppm时，对眼、鼻、咽喉等粘膜开始有刺激作用，作用时间长时也可引起肺水肿。与皮肤接触可引起毛发的燃烧，接触部位凝固性坏死、上皮组织碳化等。慢性接触可引起骨硬化症和韧带钙化。氟物质会与水或空气中之湿气反应成氟化氢或氢氟酸，如果超过20%氟化氢或氢氟酸污染致人体可能导致血钙过少。吸入氟的患者应立即转移至无污染的安全地方安置休息，并保持温暖舒适。眼睛或皮肤受刺激时迅速用水冲洗之后就医诊治。氟物质亦会与水或空气中之湿气反应成氟化氢或氢氟酸。水中生物部分，如混合气体大量的在河边或水中外泄，会导致鱼类或水中生物死亡。
安全防护
工作场所要通风保持空气新鲜干燥。要用特种钢瓶贮装。钢瓶存放时必须与其它物料隔离，特别是与能和氟反应的物料隔绝，要远离易起火地点。
着火时消防人员须在防爆掩蔽处操作，切不可将水直接喷射漏气处，否则会助长火势。灭火可用二氧化碳、干粉、砂土、废气可用水吸收。
|
个人防护设备： |
呼吸防护：当氟物质超过暴露标准，或是紧急处理程序时，必须使用呼吸防护具。
眼部：头盔附护目镜 (不可戴隐形眼镜)
手套：橡胶手套
其它：全套防化学污染之衣物 |
|
卫生措施： |
使用时禁止吸烟或进食，并需注意环境整洁及个人卫生。 |
安全与运输
氟气是一种毒性极高的强腐蚀性气体，在湿空气中易形成氟化氢或二氟化氢。氟的腐蚀性突出表 现为强烈的酸性刺激性，其性质同氟化氢相似。与水、水蒸气反应，产生有毒腐蚀性烟气，并放出热。
氟气对皮肤的灼伤速度比氢氟酸快许多，眼睛是氟中毒的敏感部位，它对眼睛的刺激程度也大大超过 氢氟酸。呼吸到低含量的氟气不会产生明显的生理病变，但经过呼吸系统进入人体的骨组织内，引起化 学反应导致骨质松软。氟气属有毒压缩气体，宜储存于阴凉、通风仓内，，并应远离火种、热源。氟气应与易燃或可燃物、金属粉末等分开存放。
|
工程控制： |
工作场地需为通风良好场所，建议钢瓶放置在安全的通风处如毒气柜，操作时应有监控系统以降低员工暴露危险 | ||||
|
控制参数 | |||||
|
八小时日时量平均容许浓度
TWA |
短时间时量平均容许浓度
STEL |
最高容许浓度
Ceiling |
生物标准
BEI(ACGIH) | ||
|
0.1 ppm |
2.0 ppm |
10 ppm |
| ||
|
生物指标 | |||||
|
LD50(测试动物吸收途径) |
LC50(测试动物吸收途径) | ||||
|
测试动物( - )吸收途径 |
测试动物(185ppm)吸收途径 | ||||
生态资料
|
可能之环境影响/环境流布：氪气、氖气为大气中自然产生之气体成分之一，不会造成环境影响。在自然水中，包含了钙及其它含碱之化学物质，与氟物质接触后会产生氟化钙及其它的氟化盐物质等中和现象。此外，氟物质亦会与水或空气中之湿气反应成氟化氢或氢氟酸，所有作业操作必须以降低环境中污染物为目标。 |
|
植物或动物影响：因为混合气体中的毒性物质，动物暴露在混合气体下会造持细胞组织破坏、燃烧并有可能导致死亡。植物如受到此混合气体污染，可能遭致有害影响或破坏 |
|
水中生物：混合气体中的氟物质，会对水中生物产生不利的影响，如果混合气体大量的在河边或水中外泄，会导致鱼类或水中生物死亡。 |
|
臭氧消耗影响：此混合气体的成分不为第一级或第二级臭氧消耗的化学成分 |
废弃处置方法
|
废弃处置方法：以慢速通过苏打 (碳酸钠) 吸收过滤之 |
