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本标准规定了电子工业用氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。

本标准适用于以氢气为原料经净化抽取的瓶装、集装格装和管道输送的电子工业用氢气。它们主要被用来提供还原气，作为外延工艺的载气以及等离子体蚀刻剂的配气原料。

氢气技术指标

试验方法

1 抽样、判定和复验

1. 1 瓶装、集装格装氢产品应逐一检验并验收。当验收结果有任何一项不符合本标准技术要求时，则判为不合格。

1.2 对稳定生产的管道输送的气由供需双方确定抽样频数。企业应确保管道输送的氢产品符合本标准技术要求。

1.3 氢采样安全应符合GB/T 3723的规定。

氢气在出厂时应附有质量合格证，其内容至少应包括：

产品名称，生产厂名称，危险化学品生产许可证编号

生产日期或批号，成品压力，产品技术指标

本标标准号及产品等级，检验员号