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常用电子混合气体

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2008-9-9 10:05:00 [点击下载：20089910535984.pdf]

电子混合气体广泛用于大规模集成电路（L.S.I）超大规模集成电路（V.L.S.I）和半导体器件生产中，主要用于气相外延（生成）、化学气相淀积、掺杂（杂质 扩散）、各类蚀刻和离子注入等工艺中。

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