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PH3_电子工业用气体磷化氢国家标准GBT 14851-2009

一、范围

本标准规定了电子工业用磷化氢的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。

本标准适用于亚磷酸热分解、磷化物水解、单质磷与水或碱反应等方法获得并精制提到的磷化氢产品。它主要用于半导体器件和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。

分子式：PH3

二、技术要求

电子工业用气体磷化氢的质量应符合表1的要求

三、磷化氢纯度

四、磷化氢标志、包装、贮运及安全

1、磷化氢是剧毒、可燃气体，加热或燃烧时，分解生成磷氧化物有毒烟雾。与空气、氧气、氧化剂如氯、氮氧化物、金属硝酸盐、卤素和其他许多物质激烈反应，有着火和爆炸危险，浸蚀许多金属。

2、与磷化氢接触时，禁止明火，禁止火花和禁止吸烟。禁止与高温表面接触。若发生火灾，切断气源，如不可能并对周围环境无危险，让火自行燃烧完全。其他情况用干粉、二氧化碳灭火。

3、磷化氢可能通过吸入吸收到体内。容器漏损时，该气体迅速达到空气中有害浓度。

4、磷化氢严重刺激呼吸道。吸入气体可能引起肺水肿。液体迅速蒸发，可能引起冻伤。该物质可能对中枢神经系统、心血系统、心脏、胃肠道、肝和肾有影响，导致功能损害。过多超过职业接触限值接触时，可能导致神志不清或死亡。影响可能推迟显现。需要进行医学观察。

5、包装容器上应标明“电子磷化氢”字样。

6、磷化氢出厂时应附有质量合格证，其内容至少应包括：

产品名称，生产厂名称，危险化学品生产许可证编号

生产日期或批号，充装质量（Kg）

本标准号及技术指标，检验员号

PH3_电子工业用气体 磷化氢国家标准GBT 14851-2009