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O2_电子工业用气体氧国家标准GB_T 2014604-2009

一、范围

本标准规定了电子工业用氧的技术要求，试验方法及包装、标志、贮运及安全。

本标准适用于以深冷法、电解法提取的气态或液态氧，以及经纯化方法得到的氧。它们主要用于二氧化硅化学气相淀积，用作氧化源和生产高纯水的反应剂，用于等离子体蚀刻和剥离、光导纤维。

分子式：O₂

二、技术要求

电子工业用气体氧的质量应符合表1的要求

三、试验方法

1、氧纯度/含量

氧纯度的体积分数不低于99.98X10^-2的按以下公式计算：

W=100-(W1+W2+W3+W4+W5+W6+W7+W8+W9+W10)x10^-4

W——氧纯度（体积分数）/10^-2

W1——氢含量（体积分数）/10^-6

W2——氩含量（体积分数）/10^-6

W3——氮含量（体积分数）/10^-6

W4——一氧化碳含量（体积分数）/10^-6

W5——二氧化碳含量（体积分数）/10^-6

W6——总烃含量（体积分数）/10^-6

W7——一氧化氮含量（体积分数）/10^-6

W8——一氧化亚氮含量（体积分数）/10^-6

W9——氪含量（体积分数）/10^-6

W10——水含量（体积分数）/10^-6

四、安全要求

1、氧的生产、使用以及贮运应符合GB 16912《气瓶安全监察规程》(2000年）、《压力容器安全技术监察规程》(1999年）等相关规定。

2、氧是一种强氧化剂。与可燃物质和还原性物质发生反应，有着火和爆炸危险。

3、液氧迅速蒸发可能引起冻伤，在极高浓度时刺激呼吸道，可能对中枢神经系统有影响。冻伤时，用大量水冲洗，不要脱去衣服，给予医疗护理。

4、浸饱液氧的工作服可能有严重的火灾危险。不要在火焰或高温表面附近或焊接时使用。

5、与氧接触时，禁止明火、禁止火花和禁止吸烟。禁止与易燃物质接触。禁止与还原剂接触。周围环境着火时，允许使用各种灭火剂。

6、液氧泄漏时应保持通风并移除全部引燃源，不要用锯末或其他可燃吸收剂吸收。切勿直接向液体上喷水。

7、贮存氧的地点应是阴凉场所，具备耐火条件。氧应与可燃物质和还原物质分开存放。

O2_电子工业用气体 氧国家标准GB_T 2014604-2009